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反应离子刻蚀

2025-03-14 精选百科

等离子体刻蚀技术及其应用<font color='#f00'>反应离子刻蚀</font>（RIE）是一种广泛应用于微电子制造领域的干法刻蚀技术。它通过利用等离…

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